无尘布检验标准有哪些

2018-07-25 nn 39
        主要通过擦拭布的材质、吸收率、洁净度和费用来评估无尘布。在半导体行业的洁净室中,对无尘擦拭布的尘粒、离子、ESD等有很高的要求。专业的无尘布需进行严格的测试以达到性能要求和污染控制标准,一般无尘布需进行这些测试:
        一、抗磨损性测试:测试无尘布单位面积的重量,一般要求在150-300克/平米
        二、吸液量和吸液速度测试:吸液量一般不小于400克/平米,吸液速度一般不大于1秒
        三、IC测试:定性定量地测量无机阴阳离子含量
        四、NVR测试:测试单位面积上的不挥发性残留物
        五、LPC测试:可是无尘布上的液态尘粒数
        六、FTIR测试:傅立叶变化红外线光谱测试
        七、GC测试:分析无尘布上有机污染物种类和含量。